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氧化铟锡薄膜是一种重掺杂、高简并n型半导体氧化物薄膜,由于其具有低电阻率、高可见光透光率、高红外线区反射率、与玻璃基体结合牢固、抗擦伤、良好的化学稳定性等优点,已经广泛应用于平板显示器、太阳能电池、汽车挡风玻璃以及电子屏蔽等诸多领域。ITO薄膜的主要成分之一就是In2O3,此外,纳米氧化铟可用于薄膜传感器和探测器价、电容器中的绝缘层、表面声波装置中的压电介质等。
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