名词解释：成分分析中XRF、EDS和ICP

来源：广州宏武材料科技有限公司 宏武新材料专家    发布时间：2018-09-11浏览量：次

1、XRF (X Ray Fluorescence X射线荧光)

      用此法做表面化学分析，准，但是必须购买有标样，绘制标准曲线。测得的样品必须满足很多条件才准，比如表面光滑，成分均匀。如果成分不均匀，只能说明在XRF测量的那个微区的成分如此，其他的不能表示。

      也就是如果希望样品测的准，一定要有对应的标准品。铜合金对应铜合金，铝合金对应铝合金，PVC对PVC，ABS对ABS，材料一定要一一相对才能测的准。如不能相对应，所测得的结果只能用于参考判断，具体结果还是以ICP或者原子吸收为准。

      XRF的样品需要前处理的。比如粉碎，或者融片之类的，都是为了让成分均匀后才测。

2、EDS (Energy Dispersive Spectrometer 能量色散谱仪)

      它是测元素的，测不出化合物。也是表面，不能测材料整体，并且点分析，区域分析等，只是某个特定地区的元素。如果想测整体的含量，参考XRF制样。另外，EDS定量准不准要看样品。如果样品都满足XRF的测试标准，EDS测量的也很准，但是EDS都是在SEM上的，都是为了看原始形貌，所以样品不能做过多的前处理，EDS也就成了半定量而已。

3、ICP （Inductively Coupled Plasma 电感耦合等离子体）

      ICP可用来测溶液中的PPM级的元素含量。也是元素含量。这个是化学分析方法了。如果操作得当，曲线配置好的话，相当准。

      但是你的样品如果是固体，需要前处理做成溶液，如果是金属，需要用各种酸溶解掉，如果是非金属，需要用各种方法溶解，比如微波消解，高温溶解等等方法。

      ICP-MS可以到做ppb量级的含量，而XRF在ppm量级。

      如果前处理做的好，ICP测得的元素含量是整体的含量！而不是表面的含量。从效果上来说XRF、EDS是表面元素分析，ICP是整体。